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低溫等離子法作為新興廢氣處理措施，近年來發展迅速。其凈化機理包括兩個方面:

第一，高頻高壓放電產生的能量可以打開分子的化學鍵，大分子VOCs可以轉化成單個原子或小分子。

等離子體中含有大量的高能電子、正離子和負離子。強氧化自由基與某些有害氣體分子結合，在高壓電作用下激發大分子激發。當作用于分子的能量大于鍵能時，有害氣體分子的化學鍵直接斷裂，生成無害位置，從而達到轉化的目的。同時，有害氣體分子被生成的大量的活性基團和高活性臭氧氧化，產生無害的產物。